Application : Semiconductor, Display, LED, SAW Filter
다양한 Metal 및 Organic & Inorganic 재료 증착
Easy Maintenance / Simple Design & Compact Size / Excellent Throughput
Substrate : Wafer & Glass
System type : Cluster & Batch Type
- Substrate Type : Wafer & Glass
- Wafer Size : 2inch~6inch, Glass Size : ~200x200mm
- Process Application : Metal, Organic & Inorganic evaporation
- Thickness Uniformity : ≤ 3%
- Rate Stability : ≤ ±5%
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